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李同生 先生
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发布时间:2020-07-19 19:38:42
管式炉抽真空步骤,如何抽真空?
管式炉真空泵抽真空性能不好,可以更换精度更高的真空泵进行实验,管式炉专用的真空泵价格在1000到3000不等,分子泵价格在几万元。
然而为了节约成本,我们根据抽真空的目的是排除氧气,我们可以向管式炉内部充入氮气等惰性气体,降低氧气浓度从而达到实验材料不会出现氧化还原现象,操作步骤如下;首先,我们将管式炉接上真空泵和氮气瓶,然后将所有阀门关闭,打开真空泵和真空阀门,观察压力表等到真空泵真空度稳定后,关闭真空阀门和真空泵;然后打开气瓶打开进气阀门,等到压力表***常压后,关闭进气阀门,此时管式炉内空气浓度降低,但空气仍有残留,我们重复上述步骤,即可得到更高纯度的氮气从而排除空气,如需更高纯度的实验可多次重复上述步骤。注意打开和关闭泵阀气瓶顺序。部分实验室管式炉需要在真空内实验,真空泵精度很高,但是达不到实验要求,可能是抽完真空后直接关闭真空泵没有关闭真空阀门,因为真空泵不工作状态会回流空气,从而导致空气进入管式炉管内,我们只需在抽完真空后先关闭真空阀门即可解决此类问题。
管式炉法兰经过特殊设计,能实现对样片通电处理,满足特殊实验要求。炉体的控制面板配有智能温度调节仪,控制电源开关、主加热工作/停止按钮,工作状态指示灯,以便随时观察本系统的工作状态。一些较大管径和温区的管式炉使得连续生产的效率大幅提高,即可通气氛也可抽真空,以便满足更多材料的生产工艺,此设备还包含了两路气体控制系统,可实现全自动无人值守工作。管式炉集控制系统与炉膛为一体,炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料,采用电阻丝为加热元件,该设备采用立式结构设计,石英管竖直放置与炉膛内部,四周加热丝均匀分布,加热元件与炉管平行,均匀地分布在炉管外,有效的保证了温场的均匀性。
如何选择管式炉?
1、了解您的应用程序
单区与多区:多区炉具有多个***控制的恒温区,允许受控的温度梯度或较长的加热区。
水平(标准)与垂直:垂直管炉提供较小的占地面积,可用于快速加热/淬火过程
RTP(快速热处理):可滑动的样品保持器或加热炉
高压/真空炉:特殊设计的高温高压真空处理用不锈钢或高温合金管
旋转管式炉:加热过程中旋转管以提高粉末加工/涂层均匀性
气体处理能力:可用于氢气处理和高温腐蚀研究的特殊模型
多功能:基于管式炉的完整系统,如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生长系统等
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